Luigi Dalporto, B.A. et al. 2026. De la cristalización del silicio a la litografía EUV: proceso integral de fabricación de wafers y fundamentos físico-ingenieriles de los escáneres de ASML. Horizonte Académico. 6, 1 (may 2026), 1869–1880. DOI:https://doi.org/10.70208/3007.8245.v6.n1.436.