Luigi Dalporto, B. A., Mary, S., & Gallur, S. (2026). De la cristalización del silicio a la litografía EUV: proceso integral de fabricación de wafers y fundamentos físico-ingenieriles de los escáneres de ASML. Horizonte Académico, 6(1), 1869–1880. https://doi.org/10.70208/3007.8245.v6.n1.436