LUIGI DALPORTO, Baldo Alberto; MARY, Sabine; GALLUR, Santiago. De la cristalización del silicio a la litografía EUV: proceso integral de fabricación de wafers y fundamentos físico-ingenieriles de los escáneres de ASML. Horizonte Académico, [S. l.], v. 6, n. 1, p. 1869–1880, 2026. DOI: 10.70208/3007.8245.v6.n1.436. Disponível em: https://horizonteacademico.org/index.php/horizonte/article/view/436. Acesso em: 28 ago. 2026.