Luigi Dalporto, Baldo Alberto, Sabine Mary, y Santiago Gallur. 2026. «De La cristalización Del Silicio a La litografía EUV: Proceso Integral De fabricación De Wafers Y Fundamentos físico-Ingenieriles De Los escáneres De ASML». Horizonte Académico 6 (1):1869-80. https://doi.org/10.70208/3007.8245.v6.n1.436.