Luigi Dalporto, B. A., Mary, S. y Gallur, S. (2026) «De la cristalización del silicio a la litografía EUV: proceso integral de fabricación de wafers y fundamentos físico-ingenieriles de los escáneres de ASML», Horizonte Académico, 6(1), pp. 1869–1880. doi: 10.70208/3007.8245.v6.n1.436.