Luigi Dalporto, Baldo Alberto, et al. «De La cristalización Del Silicio a La litografía EUV: Proceso Integral De fabricación De Wafers Y Fundamentos físico-Ingenieriles De Los escáneres De ASML». Horizonte Académico, vol. 6, n.º 1, mayo de 2026, pp. 1869-80, doi:10.70208/3007.8245.v6.n1.436.