Luigi Dalporto, Baldo Alberto, Sabine Mary, y Santiago Gallur. «De La cristalización Del Silicio a La litografía EUV: Proceso Integral De fabricación De Wafers Y Fundamentos físico-Ingenieriles De Los escáneres De ASML». Horizonte Académico 6, no. 1 (mayo 26, 2026): 1869–1880. Accedido agosto 28, 2026. https://horizonteacademico.org/index.php/horizonte/article/view/436.