Luigi Dalporto BA, Mary S, Gallur S. De la cristalización del silicio a la litografía EUV: proceso integral de fabricación de wafers y fundamentos físico-ingenieriles de los escáneres de ASML. Horizonte Académico [Internet]. 26 de mayo de 2026 [citado 28 de agosto de 2026];6(1):1869-80. Disponible en: https://horizonteacademico.org/index.php/horizonte/article/view/436